Overview

Die rasche Weiterentwicklung der Mikroelektronik erfordert aus wirtschaftlichen und technologischen Grunden eine Optimierung der Chipherstellung unter fertigungstechnischen Gesichtspunkten. Neben einer Erhohung des Automatisierungsgrades ist es besonders erforderlich, das durch die manuellen Eingriffe und den Laborcharakter bedingte Fehlerpotential in der Fertigung zu senken sowie die Ausfallsicherheit der Fertigung zu erhohen. Mit Blick darauf werden die spezifischen Merkmale der Halbleiterfertigung analysiert und daraus die Anforderungen an ein darauf abgestimmtes informationstechnisches Konzept abgeleitet. Dabei zeigt sich, dass Bediener, Leittechnik, Fertigungsgerat und Fordergut berucksichtigt werden mussen. Nach einer Strukturierung von Fertigungsdaten sowie einer Definition von Funktionsebenen und Organisationseinheiten wird ein Spektrum von Losungen fur die integrierte, automatisierte Betriebsdatenerfassung, Prozessdatenvorgabe und Fordergutidentifikation erarbeitet und bewertet. Fur die ausgewahlte Losung wird eine Konzeption mit einem Prototyp entwickelt. Anhand von Erfahrungen aus einer Pilotimplementierung werden die Einsatzmoglichkeiten und -grenzen des Informationssystems aufgezeigt.

Full Product Details

Author:   Klaus-Dieter Sauter
Publisher:   Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG
Imprint:   Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. K
Volume:   149
Dimensions:   Width: 14.80cm , Height: 0.60cm , Length: 21.00cm
Weight:   0.210kg
ISBN:  

9783540532361

ISBN 10:   3540532366
Pages:   118
Publication Date:   07 November 1990
Audience:   Professional and scholarly ,  Professional & Vocational
Format:   Paperback
Publisher's Status:   Active
Availability:   Out of stock  
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Language:   German

Table of Contents

Abkurzungen und Formelzeichen.- 1 Einleitung.- 1.1 Problemstellung.- 1.2 Zielsetzung und Vorgehensweise.- 2 Stand der Technik.- 2.1 Begriffe und Definitionen.- 2.2 Chipfertigung.- 2.3 Geratetechnik.- 2.4 Informationsverarbeitung in der Fertigung.- 3 Analyse von Schwachstellen der Chipfertigung.- 3.1 Fehlerursachen in der Chipfertigung.- 3.2 Schwachstellen in Organisation und Struktur.- 3.2.1 Fertigungsklassifizierung.- 3.2.2 Fertigungsorganisation.- 3.2.3 Fertigungsstruktur.- 3.3 Materialfluss und Logistik.- 3.4 Schwachstellen in der Informationsverarbeitung.- 3.4.1 Klassifizierung der Daten.- 3.4.2 Struktur des Arbeitsplans.- 3.4.3 Auftrag, Los und Horde.- 3.4.4 Informationsfluss.- 3.5 Manuelle Eingriffe.- 3.6 Zusammenfassung der Analyseergebnisse.- 4 Ableitung der Entwicklungsschwerpunkte.- 4.1 Strukturierung der Anforderungen.- 4.2 Aufstellung des Systempflichtenheftes.- 4.2.1 Forderungen.- 4.2.2 Wunsche.- 5 Entwicklung und Bewertung von Loesungsalternativen.- 5.1 Voraussetzungen fur die Loesungsfindung.- 5.1.1 Aufgabenorientierte Produktionsdatenstrukturierung.- 5.1.2 Informationstechnische Modellierung der Fertigung.- 5.2 Erfullung der Forderungen.- 5.2.1 Verhinderung manueller Eingriffe.- 5.2.2 Erhoehung der Ausfallsicherheit der Fertigung.- 5.2.3 Plausibilitatskontrolle.- 5.2.4 Systemkonzept zur Erfullung der Forderungen.- 5.3 Bewertung.- 5.3.1 Varianten der Funktionsaufteilung.- 5.3.2 Auswahl der Loesungsvariante.- 6 Konzeption des werkstuckbegleitenden Informationssystems.- 6.1 Organisationsstruktur.- 6.2 Funktionsmodularisierung.- 6.3 Grundbetriebsarten.- 6.4 Bedienung.- 6.5 Basisfunktionen.- 6.5.1 Datentragerverwaltung.- 6.5.2 Netzwerkkommunikation.- 6.5.3 Konfigurierung.- 6.6 Hardwarearchitektur.- 6.6.1 Gerategliederung.- 6.6.2 Varianten von Datentrager und UEbertragungseinrichtung.- 6.6.3 Schnittstelle zum Fertigungsgerat.- 6.7 Geratetechnische Ausfuhrung.- 7 Realisierung des werkstuckbegleitenden Informationssystems.- 7.1 Aufbau eines Funktionsmusters.- 7.1.1 Geratekomponenten.- 7.1.2 Schnittstellen.- 7.1.3 Softwarekonzept.- 7.1.4 Gehause und Anbringung.- 7.2 Integration in eine Pilotzelle.- 7.2.1 Fertigungsumgebung.- 7.2.2 Integration des werkstuckbegleitenden Informationssystems.- 7.2.3 Systemarchitektur der Pilot-Fertigungszelle.- 7.3 Erfahrungen bei der Realisierung.- 7.3.1 Umsetzung in ein Geratesystem.- 7.3.2 Integration in die Fertigung.- 8 Zusammenfassung und Ausblick.- 8.1 Zusammenfassung.- 8.2 Ausblick.- 9 Literaturverzeichnis.

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