Theorie und Praxis der Vakuumtechnik

Author:   Max Wutz ,  Hermann Adam
Publisher:   Springer Fachmedien Wiesbaden
Edition:   4. Auflage 1988
Volume:   66
ISBN:  

9783528248840


Pages:   654
Publication Date:   01 January 1988
Format:   Paperback
Availability:   In Print   Availability explained
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Theorie und Praxis der Vakuumtechnik


Overview

1m Vorwort zur ersten Auflage kennzeichnete Max Wutz Zweck und Ziel seines Buches mit folgenden Worten: ""Das vorliegende Buch will das Vakuumgebiet, soweit es sich urn das Erzeugen, Mes- sen und Aufrechterhalten emiedrigter Driicke sowie urn die dazu benotigte Arbeits- technik handelt, moglichst geschlossen darstellen. Es wendet sich an alle, die Experi- mente, Prozesse oder sonstige Arbeiten unter Vakuum ausftihren. Die Darstellung beriicksichtigt in gleicher Weise die theoretischen Grundlagen wie auch die Anforde- rungen der Praxis. Diesem Zweck dient auch die groBe Anzahl von erlautemden nume- rischen Beispielen. "" DaB er damit einem Bedtirfnis nachgekommen war und das damals gesteckte Ziel erreicht hatte, zeigt sein Erfolg. Das Buch war zum deutschen Standardwerk des ""Vakuums"" gewor- den. Es war demgemaB bald vergriffen und fehlte mehr als ein Jahrzehnt auf dem Bticher- markt. Seit dem Erscheinen der ersten Auflage des Buches waren sowohl auf dem Gebiet der physi- kalischen Grundlagen als auch auf dem der anwendungsbezogenen Technik bedeutende Weiterentwicklungen und Standardisierungen zu verzeichnen; sie muBten in einer Neuauf- lage gebiihrend beriicksichtigt werden. So sind die Turbomolekularpumpe und die Kryo- pumpe mit zu den wichtigsten Vakuumerzeugem geworden; die Partialdruckmessung hat groBe Fortschritte gemacht; die standardisierten Kalibrierverfahren haben die MeBunsicher- heit der Druckmessung entscheidend verringert; die automatisierbare l. ecksuchtechnik mit Hilfe kommerzieller Heliurnlecksuchgerate hat ein weites Anwendungsfeld gefunden. Bei dieser Sachlage schien es angebracht, flir eine Neubearbeitung die umfassenden Kenntnisse von Spezialisten auf ihren Teilgebieten heranzuziehen und ihre tiberarbeiteten Beitrage in einer zweiten Auflage zu einem einheitlichen Ganzen zusammenzufligen.

Full Product Details

Author:   Max Wutz ,  Hermann Adam
Publisher:   Springer Fachmedien Wiesbaden
Imprint:   Vieweg+Teubner Verlag
Edition:   4. Auflage 1988
Volume:   66
Dimensions:   Width: 17.00cm , Height: 3.50cm , Length: 24.40cm
Weight:   1.147kg
ISBN:  

9783528248840


ISBN 10:   352824884
Pages:   654
Publication Date:   01 January 1988
Audience:   Professional and scholarly ,  Professional & Vocational
Format:   Paperback
Publisher's Status:   Active
Availability:   In Print   Availability explained
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Language:   German

Table of Contents

1 Einleitung.- 1.1 Die Entwicklung der Vakuumtechnik.- 1.2 Bedeutung und Aufgabe der heutigen Vakuumtechnik.- 1.3 Literatur.- 2 Gasgesetze, Grundlagen der kinetischen Gastheorie und Gasdynamik.- 2.1 Die Zustandsgrößen eines Gases.- 2.2 Mengengrößen, mengenbezogene Größen.- 2.3 Die Gesetze des idealen Gases.- 2.4 Grundlagen der kinetischen Theorie der Materie, insbesondere im gasförmigen Zustand.- 2.5 Transportvorgänge.- 2.6 Dämpfe. Verdampfung und Kondensation.- 2.7 Gasdynamik.- 2.8 Literatur.- 3 Sorption und Desorption.- 3.1 Sorptionsphänomene und deren Bedeutung; Begriffe und Terminologie.- 3.2 Adsorptions- und Desorptionskinetik.- 3.3 Pratische Hinweise zu Adsorption und Desorption.- 3.4 Absorption, Okklusion.- 3.5 Ausgasung.- 3.6 Literatur.- 4 Strömungsvorgänge.- 4.1 Übersicht. Kennzeichnung der Strömung durch Vakuumbereiche.- 4.2 Gasstrom, Saugleistung, Saugvermögen.- 4.3 Rohrleitung als Strömungswiderstand.- 4.4 Das effektive Saugvermögen einer Vakuumpumpe.- 4.5 Strömung im Grobvakuumbereich.- 4.6 Strömung im Hoch- und Ultrahochvakuumbereich.- 4.7 Strömung im Feinvakuum.- 4.8 Literatur.- 5 Verdrängerpumpen.- 5.1 Übersicht.- 5.2 Flüssigkeitsring-Vakuumpumpen.- 5.3 Ölgedichtete Rotations-Vakuumpumpen.- 5.4 Wälzkolbenpumpen (Rootspumpen).- 5.5 Literatur.- 6 Treibmittelpumpen.- 6.1 Einleitung, Übersicht.- 6.2 Flüssigkeitsstrahlpumpen.- 6.3 Dampf- und Gasstrahl-Vakuumpumpen.- 6.4 Diffusionspumpen.- 6.5 Diffusionspujnpen — Dampfstrahlpumpen.- 6.6 Literatur.- 7 Molekularpumpen.- 7.1 Einleitung.- 7.2 Molekularpumpen.- 7.3 Turbomolekularpumpen.- 7.4 Theorie der einstufigen Pumpe.- 7.5 Leistungsdaten von Turbomolekularpumpen.- 7.6 Betriebshinweise.- 7.7 Anwendungen.- 7.8 Literatur.- 8 Sorptionspumpen.- 8.1 Adsorptionspumpen.- 8.2 Gasaufzehrungdurch Getter.- 8.3 Ionenzerstäuberpumpen.- 8.4 Literatur.- 9 Kondensatoren.- 9.1 Kondensatoren als Vakuumpumpen.- 9.2 Bauarten von Kondensatoren.- 9.3 Kondensatoren in Kombination mit Vakuumpumpen.- 9.4 Berechnung von Kondensator-Pumpen-Kombinationen.- 9.5 Literatur.- 10 Kryotechnik und Kryopumpen.- 10.1 Einleitung.- 10.2 Kühlverfahren.- 10.3 Stoffeigenschaften bei tiefen Temperaturen.- 10.4 Temperaturmessung.- 10.5 Kryostatentechnik.- 10.6 Kryopumpen.- 10.7 Literatur.- 11 Vakuummeßgeräte und Lecksuchgeräte.- 11.1 Druck- und Teilchenanzahldichte; Übersicht.- 11.2 Mechanische Vakuummeter.- 11.3 Flüssigkeitsmanometer.- 11.4 Wärmeleitungsvakuummeter.- 11.5 Ionisationsvakuummeter.- 11.6 Partialdruckmeßgeräte.- 11.7 Lecksuchgeräte.- 11.8 Kalibrieren von Vakuummetern.- 11.9 Literatur.- 12 Lecksuchtechnik.- 12.1 Überblick.- 12.2 Überdruckverfahren.- 12.3 Lecksuchverfahren bei Vakuum.- 12.4 Testlecke für Lecksuchgeräte.- 12.5 Allgemeine Hinweise für die Lecksuche.- 12.6 Lecksuchtechnik in der Serienfertigung.- 12.7 Literatur.- 13 Werkstoffe.- 13.1 Allgemeine Gesichtspunkte und Einteilung.- 13.2 Die Werkstoffe im einzelnen.- 13.3 Gasdurchlässigkeit.- 13.4 Gasabgabe.- 13.5 Literatur.- 14 Bauelemente der Vakuumtechnik und ihre Verbindungen.- 14.1 Nichtlösbare Verbindungen.- 14.2 Lösbare Verbindungen.- 14.3 (Vakuum-)Behälter.- 14.4 Durchführungen.- 14.5 Flexible Verbindungsstücke.- 14.6 Absperrorgane (Ventile).- 14.7 Literatur.- 15 Arbeitstechnik in den einzelnen Druckbereichen.- 15.1 Allgemeine Hinweise.- 15.2 Arbeitstechnik im Grobvakuum (1013 l mbar).- 15.3 Arbeitstechnik im Feinvakuum (1 10?3mbar).- 15.4 Arbeitstechnik im Hochvakuum (10?3 10?7mbar).- 15.5 Arbeitstechnik im Ultrahochvakuum (p < 10?7mbar).- 15.6 Literatur.- 16 Anhang.- 16 Anhang.-16.A Tabellen.- 16.B Diagramme.- 16.C Erläuterung einiger häufig verwendeter Abkürzungen.- 16.D Größen und Einheiten.- 16.E Formelzeichen (Symbole) häufiger verwendeter physikalischer Größen und deren SI-Einheiten.- Sachwortverzeichnis.

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