Technologien der Mikrosysteme
Author:   Ha Duong Ngo
Publisher:   Springer Fachmedien Wiesbaden
Edition:   1. Aufl. 2022
ISBN:  

9783658374976


Pages:   246
Publication Date:   02 January 2023
Format:   Paperback
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Technologien der Mikrosysteme


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Overview

Full Product Details

Author:   Ha Duong Ngo
Publisher:   Springer Fachmedien Wiesbaden
Imprint:   Springer Vieweg
Edition:   1. Aufl. 2022
Weight:   0.439kg
ISBN:  

9783658374976


ISBN 10:   3658374977
Pages:   246
Publication Date:   02 January 2023
Audience:   Professional and scholarly ,  Professional & Vocational
Format:   Paperback
Publisher's Status:   Active
Availability:   Manufactured on demand   Availability explained
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Language:   German

Table of Contents

Definition eines Mikrosystems.- Wichtige Halbleiter in der Mikrosystemtechnik.- Herstellung von einkristallinem Silizium (Si), Galliumarsenid (GaAs) und Siliziumkarbid (SiC).- Reinraumtechnik.- Silizium-Planartechnologie.- Herstellung dreidimensionaler Strukturen in Silizium.- Oberflächen-Mikromechanik (Surface Micromachining).- Waferbonden (Waferbonding).- Kontaktierverfahren.- Nicht-Silizium-HARMS (High Aspect Ratio Micro-Structures).- Schichttechniken.

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Author Information

Ha Duong Ngo ist seit 2012 Professor für Mikrosystemtechnik und Mikrosensorik an der Hochschule für Technik und Wirtschaft Berlin. Von 2015 bis 2021 war er Gruppenleiter Mikrosensorik am Fraunhofer Institut IZM Berlin. Davor war er Oberingenieur an der Technische Universität Berlin auf dem Gebiet Mikrosensor/Mikroaktuatorik und Referent Technologie bei Firma Schott AG.

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