Overview

Die vorliegende Arbeit entstand wihrend meiner Tiitigkeit als wissenschaftlicher Mitarbeiter am Fraunhofer-Institut flir Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart. Die Untersuchungen wurden anteilig mit Mitteln des Bundes- ministeriums flir Forschung und Technologie (BMFT), Projekttriigerschaft ""Halb- leiterfertigungsgerlite"" gefOrdert. Mein besonderer Dank gilt dem Leiter des Instituts, Herrn Professor Dr. -Ing. H. -J. Warnecke, flir seine groBziigige Unterstiitzung und Forderung, die entscheidend zur erfolgreichen Durchflihrung dieser Arbeit beigetragen haben. Herrn Professor Dr. -Ing. H. Bach danke ich flir die Ubernahme des Mitberichtes, flir die eingehende Durchsicht und flir die wertvollen Hinweise, die sich daraus ergaben. Aus dem groBen Kreis der Kollegen am Institut, die mich durch ihre Mitarbeit und anregende Kritik unterstiitzt haben, - mi)chte ich die Herren Dr. -Ing. J. GeiSinger, DipI. -Ing. J. SchlieBer, Dr. -Ing. M. Schweizer, P. Baumbusch und Prof. Dr. -Ing. R-D. Schraft besonders erwihnen. Ihnen allen gilt mein herzlicher Dank. Stuttgart, Januar 1992 Elmar Degenhart Inhaltsverzeichnis Abkiirzungen und Formelzeichen 13 1 Einleitung 15 1. 1 Problemstellung 15 1. 2 Zielsetzung und Vorgehensweise 16 2 Stand der Technik 17 2. 1 Begriffe und Definitionen 17 2. 1. 1 Reinraumtechnologie 17 2. 1. 2 Reinheitsldassen 17 2. 1. 3 Reinraum 18 2. 2 Ausgangssituation 21 2. 2. 1 Kontaminationsquellen im Reinraum 21 Stromungsverhaltnisse im Reinraum 2. 2. 2 23 2. 2. 3 Stromungstechnische Untersuchungsmethoden 24 Quantitative Methoden 2. 2. 3. 1 24 2. 2. 3. 2 Qualitative Methoden der Stromungssichtbarmachung 26 2. 2. 4 Fertigungsgeratetechnik 29 3 Entwicklungsscbwerpunkte 33 3.

Full Product Details

Author:   Elmar Degenhart
Publisher:   Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG
Imprint:   Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. K
Volume:   165
Dimensions:   Width: 14.00cm , Height: 0.80cm , Length: 21.60cm
Weight:   0.240kg
ISBN:  

9783540554783

ISBN 10:   3540554785
Pages:   137
Publication Date:   21 April 1992
Audience:   Professional and scholarly ,  Professional & Vocational
Format:   Paperback
Publisher's Status:   Active
Availability:   Out of stock  
The supplier is temporarily out of stock of this item. It will be ordered for you on backorder and shipped when it becomes available.
Language:   German

Table of Contents

Abkurzungen und Formelzeichen.- 1 Einleitung.- 1.1 Problemstellung.- 1.2 Zielsetzung und Vorgehensweise.- 2 Stand der Technik.- 2.1 Begriffe und Definitionen.- 2.1.1 Reinraumtechnologie.- 2.1.2 Reinheitsklassen.- 2.1.3 Reinraum.- 2.2 Ausgangssituation.- 2.2.1 Kontaminationsquellen im Reinraum.- 2.2.2 Stroemungsverhaltnisse im Reinraum.- 2.2.3 Stroemungstechnische Untersuchungsmethoden.- 2.2.3.1 Quantitative Methoden.- 2.2.3.2 Qualitative Methoden der Stroemungssichtbarmachung.- 2.2.4 Fertigungsgeratetechnik.- 3 Entwicklungsschwerpunkte.- 3.1 Ableitung von Untersuchungsinhalten.- 3.2 Anforderungen an Untersuchungsmethoden.- 3.2.1 Quantitative Methoden.- 3.2.2 Qualitative Methoden der Stroemungssichtbarmachung.- 4 Auswahl von Untersuchungsmethoden und Entwicklung von Versuchseinrichtungen.- 4.1 Auswahl der Messgerate.- 4.1.1 Geschwindigkeitsanemometer.- 4.1.2 Auswahl der Partikelmessgerate.- 4.2 Entwicklung einer kontaminationsfreien, transportablen Laser-Lichtschnitt-Anlage zur Stroemungssichtbarmachung.- 4.3 Tracer-Erzeugung und -Einbringung.- 4.4 Aufbau eines automatisierten Prufstandes zur Durchfuhrung von Geschwindigkeitsrastermessungen.- 5 Ermittlung des Einflusses unterschiedlicher Turbulenzintensitaten der Reinraumstroemung.- 5.1 Einflussbereich von Funktionstragern auf die ungestoerte Reinraumstroemung.- 5.2 Partikelausbreitung im Nachlauf von Funktionstragern.- 6 Untersuchung der Stroemung innerhalb und in der Umgebung von Fertigungseinrichtungen.- 6.1 Durchfuhrung der Untersuchungen.- 6.2 Stroemungsanalyse an Funktionstragern.- 6.2.1 Umstroemung verschiedener Profilgeometrien unter Berucksichtigung der Profilorientierungen.- 6.2.2 Untersuchung von Ruckstroemeffekten.- 6.3 Stroemungsuntersuchungen an Baugruppen.- 6.3.1 Auswirkungen von Kapselungen auf die Stroemungsverhaltnisse.- 6.3.2 Einfluss unterschiedlicher Neigungswinkel von Baugruppen zylindrischer Form auf die Partikelausbreitung in deren Nachlauf.- 6.3.3 Untersuchungen von Luftverdrangungseffekten.- 6.3.4 Einfluss von Geschwindigkeitsparametern bei Handhabungsund Transporteinrichtungen.- 6.4 Stroemungsausbildung an Fertigungsanlagen.- 6.4.1 Untersuchung von Spalteffekten und unterschiedlichen Baugruppenanordnungen in einer Anlage.- 6.4.2 Stroemungsbeeinflussung durch Lochbleche.- 6.4.3 Moeglichkeiten der Absaugung.- 6.4.4 Orientierung von anlagenintern zu handhabenden Produkten.- 7 Richtlinien zur stroemungstechnischen Auslegung reinraumtauglicher Fertigungseinrichtungen.- 7.1 Vorgehensweise bei der Entwicklung reinraumtauglicher Fertigungseinrichtungen.- 7.2 Richtlinien zur stroemungsgerechten Auslegung und Integration von Funktionstragern in Baugruppen und Fertigungsanlagen.- 7.3 Richtlinien zur stroemungsgerechten Auslegung und Anordnung von Baugruppen in Fertigungsanlagen.- 7.4 Richtlinien zur stroemungsgerechten Auslegung und Aufstellung von Fertigungsanlagen in Reinraumen.- 8 Umsetzung und Erprobung der Richtlinien anhand der Optimierung einer Prototypanlage.- 8.1 Beschreibung des Prototypen und der bestehenden Anforderungen.- 8.2 Schwachstellenanalyse.- 8.3 Modifikationsphase.- 8.4 Optimierte Fertigungseinrichtung.- 8.5 Bewertung der Anwendbarkeit der aufgestellten Richtlinien.- 9 Zusammenfassung und Ausblick.- 10 Schrifttum.

Reviews

Author Information

Tab Content 6

Author Website:  

Countries Available

All regions