Overview

Die vorliegende Arbeit entstand wlihrend meiner Tatigkeit als wissenschaftlicher Mitarbeiter arn Fraunhofer-Institut fUr Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart. Zum Dank fUr den Riickhalt wiihrend des Entstehens der Arbeit widme ich das Buch meiner Farnilie. Herro Professor Dr.-log. Dr. h.c. Dr.-Ing. E.h. H.-J. Warnecke danke ich fUr seine wohl- wollende Unterstiitzung und F&derung meiner Arbeit Mein Dank gilt in gleicher Weise Herro Professor Dr.-phil. Dipl.-Ing. H. Tiziani fUr die Durchsicht der Arbeit und die Ubernahme des Mitberichts. An dieser Stelle mOchte ich auch den Mitgliedern des VDI-Richtlinien-Arbeitskreises 2083 Blatt 4 -Oberfliichenreinheit fUr ihre konstruktiven Diskussionen danken. Ferner danke ich allen Kolleginnen und Kollegen, die mich durch ihre Mitarbeit und Kritik unterstiitzt haben. Mein besonderer Dank gilt dabei Herro Dr.-Ing. E. Degenhart, Herro Dr.-Ing. M. Schweizer und Herro Prof. Dr.-log. R. D. Schraft fUr ihre Diskussions- bereitschaft und befruchtenden Anregungen. Einen besonderen Dank mOchte ich auch Herro Dipl.-Ing. S. Wohnhas sowie Herro Dipl.-Ing. J. SchlieBer fUr ihre ausdauernde Diskussionsbereitschaft wlihrend der Entstehung dieses Werkes aussprechen.

Full Product Details

Author:   Bernhard Klumpp
Publisher:   Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG
Imprint:   Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. K
Volume:   182
Dimensions:   Width: 14.00cm , Height: 0.60cm , Length: 21.60cm
Weight:   0.195kg
ISBN:  

9783540573029

ISBN 10:   354057302
Pages:   107
Publication Date:   10 September 1993
Audience:   Professional and scholarly ,  Professional & Vocational
Format:   Paperback
Publisher's Status:   Active
Availability:   Out of stock  
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Language:   German

Table of Contents

1 Einleitung.- 1.1 Problemstellung.- 1.2 Zielsetzung und Vorgehensweise.- 2 Stand der Technik.- 2.1 Begriffe und Definitionen.- 2.1.1 Partikel.- 2.1.2 Technische Oberflachen.- 2.1.3 Oberflachenreinheit.- 2.2 Ursachen fur die Verunreinigung von Oberflachen.- 2.3 Oberflachen in unmittelbarer Produktumgebung.- 2.4 Verfahren zur Prufung der Partikelreinheit technischer Oberflachen.- 3 Analyse der Randbedingungen zur Prufung der Partikelreinheit technischer Oberflachen.- 3.1 Analyse der Beurteilungsmerkmale fur Partikel.- 3.2 Eingesetzte Oberflachen.- 3.3 Beurteilungskriterien fur die Oberflachenreinheit.- 3.4 Analyse der verfugbaren Partikelmesstechnik.- 4 Ableitung von Entwicklungsschwerpunkten.- 4.1 Anforderungen an die Prufeinrichtung.- 4.2 Anforderungen an eine zu entwickelnde Prufmethode.- 5 Konzeption und Realisierung einer Prufeinrichtung zur Beurteilung der Partikelreinheit technischer Oberflachen.- 5.1 Konzeption einer Prufeinrichtung.- 5.1.1 Bewertung der Partikelmessverfahren.- 5.1.2 Varianten von Prufkonzepten.- 5.2 Konzeption und Entwicklung von Funktionsgruppen.- 5.2.1 Beleuchtungs- und Detektionssystem.- 5.2.2 Bildverarbeitungs- und Auswertesystem.- 5.3 Realisierung.- 5.3.1 Eingesetzte und optimierte Funktionsgruppen.- 5.3.2 Funktionsablauf und Architektur.- 5.3.3 Optimierung der geratetechnisch bedingten Messfehler.- 5.4 Minimal nachweisbare Partikelgroessen auf idealen Oberflachen.- 6 Entwicklung einer Prufmethode.- 6.1 Auswahl von Testoberflachen.- 6.2 Definierte Verunreinigung der Testoberflachen.- 6.3 Detektionsrandbedingungen fur die Prufmethode.- 6.4 Erarbeitung der Prufmethode.- 6.4.1 Optimierung der Zahl von Kalibrierpunkten.- 6.4.2 Bestimmung der Orte der Probenahme.- 6.4.3 Anzahl der Messpunkte.- 6.4.3.1 Abhangigkeit der Partikelkonzentration.- 6.4.3.2 Abhangigkeit der Partikelgroessenverteilung.- 6.4.3.3 Abhangigkeit der Partikelhaufigkeitsverteilung.- 6.4.4 Bestimmung der notwendigen Zahl von Wiederholungsprufungen.- 6.4.5 Art und Umfang der Probenahme zum Einsatz der Prufmethode.- 7 Anwendung des Verfahrens in realen Einsatzfallen.- 7.1 Untersuchung der Eignung des Verfahrens zur Fertigungsuberwachung.- 7.1.1 Untersuchung zum Nachweis der Partikelablagerung durch gerateinterne Baugruppen.- 7.1.2 Untersuchung zum Nachweis der Partikelablagerung in einer flussigen Umgebung.- 7.2 Qualitatssicherung durch Reinigung technischer Oberflachen.- 7.2.1 Versuchsrandbedingungen.- 7.2.2 Ergebnisse.- 7.3 Bewertung der Anwendbarkeit des Verfahrens.- 8 Zusammenfassung und Ausblick.- 9 Literatur.

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