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Aufgrund der verscharften Anforderungen an die Reinraumtechnik gewinnt die reinraumgerechte Konstruktion der Fertigungsgerate zunehmend an Bedeutung. Die Ergebnisse einer Literaturrecherche uber Reinraumtauglichkeitsuntersuchungen sowie Konstruktionsrichtlinien und -regeln zur reinraumgerechten Konstruktion verdeutlichen, dass derzeit keine vollstandigen und ausreichenden Hilfsmittel fur die optimale stromungstechnische Integration der Gerate in den Reinraum zur Verfugung stehen. Deshalb werden in dieser Publikation zunachst die Partikeltransportvorgange im Reinraum zu Produktoberflachen erlautert. Fest steht, dass die Umgebungsbedingungen - im wesentlichen die lokalen Stromungsverhaltnisse - den Partikeltransport bestimmen. Fur die stromungsgunstige Gestaltung von Reinraumgeraten werden systematisch sowohl eine experimentelle als auch eine simulative Methode, basierend auf der numerischen Stromungssimulation, zur stromungsgunstigen Gestaltung entwickelt und an Beispielen dargestellt. Der Vergleich zwischen Ergebnissen der Simulation und dem Experiment ergibt eine hinreichend genaue Ubereinstimmung. Beispielhaft durchgefuhrte Kontaminationsmessungen weisen eine Reduzierung des Partikelniederschlages aufgrund der Stromungsoptimierung nach. Fur den Anwender werden sowohl fur die Versuchsdurchfuhrung als auch fur die Simulationsrechnung problemspezifische Hinweise gegeben.""

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9783540540274

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