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Gegenstand dieser Arbeit ist die Modellierung und Simulation eines neuartigen mikrowellengetriebenen Plasmajets, welcher die kompakten Abmessungen einer miniaturisierten Jetquelle mit den Vorteilen der induktiven Leistungseinkopplung verbindet. Es wird schrittweise eine analytische Beschreibung unter Ausnutzung problemangepasster Naherungen entwickelt, bestehend aus zwei Teilmodellen. Einerseits ein elektromagnetisches Modell auf Basis der Maxwellgleichungen und andererseits ein globales Plasmachemiemodell, in Form von volumengemittelten Bilanzgleichungen. Die anschliessende Simulation verschiedener Plasmaparameter und Betriebszustande bildet die Grundlage fur ein vertieftes Verstandnis der neuartigen Plasmaquelle. Die zentralen Modellaussagen weden an verfugbaren experimentellen Daten fur Stickstoff gespiegelt. Abschliessend wird ein dreidimensionales Modell der Elektronendichte entwickelt, welches den Transport der Elektronen aufgrund von Diffusion und Drift im Rahmen einer partiellen Differentialgleichung beschreibt. Die entstehende Losung erlaubt es, die Elektronendichte fur beliebige Positionen entlang des Gasstroms und fur eine grosse Breite an Betriebsparameter zu berechnen. Zusammenfassend ergibt sich eine umfassende theoretische Charakterisierung, sowohl der physikalischen Grundlagen, als auch der technologierelevanten Eigenschaften der neuen Plasmaquelle.

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9783832556204

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