Mikrosystemtechnik: Vom Transistor zum Biochip
Author:   Stephanus Büttgenbach
Publisher:   Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG
Edition:   1. Aufl. 2016
ISBN:  

9783662497722


Pages:   151
Publication Date:   15 November 2016
Format:   Paperback
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Mikrosystemtechnik: Vom Transistor zum Biochip


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Overview

Full Product Details

Author:   Stephanus Büttgenbach
Publisher:   Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG
Imprint:   Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. K
Edition:   1. Aufl. 2016
Weight:   0.454kg
ISBN:  

9783662497722


ISBN 10:   3662497727
Pages:   151
Publication Date:   15 November 2016
Audience:   Professional and scholarly ,  Professional & Vocational
Format:   Paperback
Publisher's Status:   Active
Availability:   Manufactured on demand   Availability explained
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Language:   German

Table of Contents

Einleitung.- Transistor und Halbleitertechnik.- Piezoresistiver Effekt.- Bulk Micromachining.- LIGA-Verfahren.- Surface Micromachining.- Atomic Force Microscope (AFM).- Entwicklung von Ultrakurzpulslasern.- µTAS (Micro Total Analysis System)-Konzept.- Deep Reactive Ion Etching (DRIE).- Soft-Lithografie.- Die Zukunft.

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.. . Das Buchlein, das weder Lehrbuch noch sytematisches Kompendium ist, kann allen bestens empfohlen werden, die sich fur Mikrosystemtechnik interessieren und einen knappen (ca. 150 Seiten) aber fundierten Einblick in diese Technik suchen. (Karl Schafer, in: Amazon.de, 14. Mai 2017)


.. . Das B�chlein, das weder Lehrbuch noch sytematisches Kompendium ist, kann allen bestens empfohlen werden, die sich f�r Mikrosystemtechnik interessieren und einen knappen (ca. 150 Seiten) aber fundierten Einblick in diese Technik suchen. (Karl Sch�fer, in: Amazon.de, 14. Mai 2017)


Author Information

Stephanus Büttgenbach ist ein Experte der Mikrosystemtechnik. Er arbeitet seit 1985 in Forschung,  Entwicklung und Lehre auf diesem Gebiet in Industrie und Universität. Er ist in nationalen und europäischen Fachgesellschaften engagiert.

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