Overview
Mikromechanik behandelt die physikalischen Grundlagen dieser jungen, zukunftstrachtigen Disziplin, ihre Technologie, aufbauend auf der Siliziumtechnologie, und ihre Nutzung in den verschiedensten Anwendungen der Bereiche Sensorik, Aktuatorik und integrierte Optoelektronik. Das Buch ist unentbehrlich fur jeden, der sich intensiv mit der Mikromechanik befassen will; fur den Studierenden ebenso wie fur den Ingenieur in der Praxis oder den interessierten Laien.""
Full Product Details
Author: Anton Heuberger
Publisher: Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG
Imprint: Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. K
Edition: 1. Aufl. 1989. 2. Nachdruck ed.
Weight: 1.125kg
ISBN: 9783540187219
ISBN 10: 3540187219
Pages: 501
Publication Date: 01 October 1994
Audience:
General/trade
,
General
Format: Hardback
Publisher's Status: Active
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Language: German
Reviews
.. . ein wesentlicher Beitrag zu diesem sich rasch entwickelnden Gebiet ... hat es verstanden, die Beitrage hervorragender Fachleute ... zu einem Lehr- und Nachschlagewerk zu verbinden, das einen vollstandigen Uberblick uber den Stand der Mikrostrukturtechnik gibt und dem Fachmann eine Fulle von Detailwissen vermittelt. ... der Stoff sorgfaltig ausgewahlt und behandelt und vom Bildmaterial sowie der graphischen Gestaltung her von hoher Qualitat. ... (Der Fraunhofer) .. .helfen ausgewahlte Beispiele, den Anwendungsbezug zu dem zuvor Beschriebenen herzustellen. ... Einige Bemerkungen uber die Mikromechanik als kunftige Basis der Systemintegration und ein ausfuhrliches Sachverzeichnis runden das Gesamtwerk ab. Es liegt in der ... bekannten hochwertigen Qualitat in Text, Grafik und Bildwiedergabe vor. ... (Werkstattstechnik)
.."". ein wesentlicher Beitrag zu diesem sich rasch entwickelnden Gebiet ... hat es verstanden, die Beitrage hervorragender Fachleute ... zu einem Lehr- und Nachschlagewerk zu verbinden, das einen vollstandigen Uberblick uber den Stand der Mikrostrukturtechnik gibt und dem Fachmann eine Fulle von Detailwissen vermittelt. ... der Stoff sorgfaltig ausgewahlt und behandelt und vom Bildmaterial sowie der graphischen Gestaltung her von hoher Qualitat. ..."" (Der Fraunhofer) .."".helfen ausgewahlte Beispiele, den Anwendungsbezug zu dem zuvor Beschriebenen herzustellen. ... Einige Bemerkungen uber die Mikromechanik als kunftige Basis der Systemintegration und ein ausfuhrliches Sachverzeichnis runden das Gesamtwerk ab. Es liegt in der ... bekannten hochwertigen Qualitat in Text, Grafik und Bildwiedergabe vor. ..."" (Werkstattstechnik)""
