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Les microsyst mes (MEMS - Micro-Electro-Mechanical Systems) sont des composants miniaturis?'s r unissant des fonctions lectroniques, m caniques et optiques sur la m me puce. Les technologies microsyst mes conjuguent les techniques du pointe de la micro lectronique des semi-conducteurs et les nouvelles techniques du micro-usinage, permettant ainsi la r alisation de syst mes entiers sur une puce (SoC - System on Chip). En plus, cette int gration permettra de miniaturiser le syst me, d'am liorer ses performances, d'augmenter la sensibilit et de diminuer le bruit gr ce la r duction de la taille des composants et par la suite les capacit?'s parasites dues aux interconnexions. Dans ce cadre vient l'objectif de cette th se qui a pour but de concevoir et r aliser une nouvelle g n ration de microphone monolithique de type lectrodynamique, base de bobines spirales planaires, r alis e en technologie standard compl t e par un post process de micro-usinage en volume par la face avant.

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9786131584930

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