Overview

Der Einsatz von Handhabungssystemen in Fertigungen, die in Reinräumen stattfinden, gewinnt aus Gründen der Kontaminationsminimierung zunehmend an Bedeutung. Die eingesetzten Systeme basieren in der Regel auf funktionalen Gesichtspunkten. In der vorliegenden Veröffentlichung wird eine Meßmethode zur Lokalisierung von Partikelquellen an Handhabungssystemen aufgezeigt. Mit Hilfe dieser Meßmethodik werden die wesentlichen Baugruppen von Handhabungssystemen bezüglich ihrer Partikelemission untersucht sowie Modifikationen zum Zwecke der Minimierung der Partikelemission entwickelt. Die wesentlichen Erkenntnisse der zugrundeliegenden Untersuchungen werden in 10 Richtlinien zusammengefaßt. Mit deren Anwendung ist es möglich, reinraumtaugliche Handhabungssysteme zu entwickeln. Zur Lokalisierung von Schwachstellen steht die spezielle Meßmethodik zur Verfügung. Mit Hilfe dieser beiden Instrumentarien ist es möglich, ein optimales System mit minimaler Partikelemission aufzubauen.

Full Product Details

Author:   Jürgen Geißinger
Publisher:   Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG
Imprint:   Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. K
Volume:   141
Dimensions:   Width: 14.80cm , Height: 0.70cm , Length: 21.00cm
Weight:   0.220kg
ISBN:  

9783540519591

ISBN 10:   3540519599
Pages:   124
Publication Date:   30 November 1989
Audience:   Professional and scholarly ,  Professional & Vocational
Format:   Paperback
Publisher's Status:   Active
Availability:   Out of stock  
The supplier is temporarily out of stock of this item. It will be ordered for you on backorder and shipped when it becomes available.
Language:   German

Table of Contents

1 Einleitung.- 1.1 Problemstellung.- 1.2 Zielsetzung und Vorgehensweise.- 2 Stand der Technik.- 2.1 Begriffe und Definitionen.- 2.1.1 Reinraumtechnologie.- 2.1.2 Reinheitsklassen.- 2.1.3 Reinraum.- 2.2 Ausgangssituation.- 2.2.1 Partikelmessung.- 2.2.1.1 Aufgaben der Partikelmessung.- 2.2.1.2 Partikelmesstechnik.- 2.2.1.3 Methode bei der Partikelmessung.- 2.2.2 Ursachen der Partikelkontamination.- 2.2.3 Massnahmen zur Kontaminationsminimierung.- 2.2.4 Analyse im Reinraum eingesetzter Handhabungssysteme.- 3 Entwicklungsschwerpunkte.- 3.1 Untersuchungsinhalte als Folgerung aus der Analyse der Ausgangssituation.- 3.2 Anforderungen an eine zu entwickelnde Messmethode zur Erfassung der Partikelemission von Handhabungssystemen.- 4 Entwicklung einer Messmethode zur Lokalisierung von Partikelquellen bei Handhabungssystemen.- 4.1 Auswahl der Partikelmessgerate.- 4.2 Aufbau von Prufstanden zur Untersuchung von Handhabungskomponenten.- 4.2.1 Prufstand zur Untersuchung angetriebener Komponenten.- 4.2.2 Prufstand fur Stroemungsuntersuchungen.- 4.2.3 Prufstand zur Untersuchung nicht angetriebener Komponenten.- 4.3 Erarbeitung der Messmethode.- 4.3.1 Bestimmung des zu untersuchenden Bereiches der Handhabungssysteme durch Stroemungsanalyse.- 4.3.2 Bestimmung der Partikelausbreitung.- 4.3.3 Umfang der Probenahmen zur Erfassung aller Partikelquellen des zu untersuchenden Systems.- 4.3.4 Optimierungsschritte zur Bestimmung des erforderlichen Umfangs der Probenahmen.- 4.3.4.1 Anzahl der Messebenen.- 4.3.4.2 Abstand der Messpunkte im Messraster.- 4.3.4.3 Anzahl der Probenahmen je Messpunkt.- 5 Untersuchung der Partikelemission von Handhabungskomponenten.- 5.1 Untersuchungsablauf.- 5.2 Partikelmessungen an Baugruppen.- 5.2.1 Antriebe.- 5.2.2 Antriebsubertragungselemente.- 5.2.3 Fuhrungen.- 5.3 Partikelanalyse an Baugruppen.- 5.4 Untersuchung von Modifikationen an Verfahrachsen von Handhabungssystemen.- 6 Ableitung von Richtlinien zur Entwicklung reinraumtauglicher Handhabungssysteme.- 6.1 Erstellung des Anforderungsprofiles.- 6.2 Richtlinien zur Konzeption und Integration von Reinraumhandhabungssystemen.- 6.3 Richtlinien zum Entwurf von Reinraumhandhabungssystemen.- 7 Umsetzung und Erprobung der Erkenntnisse an einem Praxisbeispiel.- 7.1 Anforderungskatalog fur das zu entwickelnde Handhabungssystem.- 7.2 Konstruktiver Aufbau der realisierten Loesung.- 7.3 Test und Modifikation des Prototyps im Reinraum.- 7.3.1 Stroemungsanalyse.- 7.3.2 Partikelmessungen.- 7.4 Bewertung der Anwendungsmoeglichkeit der Richtlinien sowie der Messmethode.- 8 Zusammenfassung und Ausblick.- 9 Schrifttum.

Reviews

Author Information

Tab Content 6

Author Website:  

Countries Available

All regions